微构件力学性能测试技术进展

中国机械工程 ›› 2007, Vol. 18 ›› Issue (19): 2383-2387.

微构件力学性能测试技术进展

褚金奎；张段芹

收稿日期:1900-01-01 修回日期:1900-01-01 出版日期:2007-10-10 发布日期:2007-10-10

Research Situation and Trend of Mechanical Testing of Micro Structures

Chu Jinkui；Zhang Duanqin

Received:1900-01-01 Revised:1900-01-01 Online:2007-10-10 Published:2007-10-10

摘要/Abstract

摘要：

阐述了微构件力学性能的研究现状与存在的力学性能参数表征问题，而后重点介绍了微构件力学性能测试中相关的驱动方式、微位移检测和微力检测技术。

关键词: 微机电系统, 力学性能, 驱动, 微位移检测, 微力检测

Abstract:

This paper firstly presented the recent research situations in the micromechanics testing technique and the problems in characterization of mechanics properties. Then the techniques about actuators, micro displacement sensors, and micro force sensors were discussed and compared respectively as they were main parts in microscale mechanics testing.

Key words: MEMS, mechanics property, actuator, micro displacement sensor, micro force sensor

中图分类号:

TB93

褚金奎, 张段芹. 微构件力学性能测试技术进展[J]. 中国机械工程, 2007, 18(19): 2383-2387.

Chu Jinkui, Zhang Duanqin. Research Situation and Trend of Mechanical Testing of Micro Structures[J]. China Mechanical Engineering, 2007, 18(19): 2383-2387.

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