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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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光刻旋涂中的膜厚分析与数值模拟
刘学平, 郑钢,
Analysis and Numerical Simulation of Film Thickness of Photoresist Spin Coating
Liu Xueping, Zheng Gang,
中国机械工程 . 2015, (
6
): 733 -736,742 .
