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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术
徐景辉, 苑伟政, 谢建兵, 常洪龙
A MEMS CAD Methodology from 3D Model to 2D Mask Layout
Xu Jinghui, Yuan Weizheng, Xie Jianbing, Chang Honglong
中国机械工程 . 2008, (
1
): 80 -84 .
