摘要:
研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种在MEMS CAD中从三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到文件的三维实体到工艺版图的转换,使用C++语言开发了相应的转换接口。通过典型MEMS器件——微机械加速度计和微机械陀螺的多种结构,验证了三维实体到二维版图转换的可行性与效率。结果表明,这种转换方法切实可行,且效率较高,为实现MEMS自顶向下与基于任意流程的设计方法、简化版图绘制、提高设计效率提供了一种有效的途径。
中图分类号:
徐景辉, 苑伟政, 谢建兵, 常洪龙. 一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术[J]. 中国机械工程, 2008, 19(1): 80-84.
Xu Jinghui, Yuan Weizheng, Xie Jianbing, Chang Honglong. A MEMS CAD Methodology from 3D Model to 2D Mask Layout[J]. China Mechanical Engineering, 2008, 19(1): 80-84.