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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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芯片粘接对MEMS结构稳定性的影响
蒋明霞, 王磊, 唐洁影
#br# Bonding Effects on Stability of Structures in MEMS
JIANG Meng-Xia, WANG Lei, TANG Ji-Ying
中国机械工程 . 2012, (
18
): 2155 -2159 .
