<div> 精密微小内尺度测量技术研究进展 </div>

精密微小内尺度测量技术研究进展

崔继文, 谭久彬, 宋传曦

Research Progresses of Precision Measurement Technique for Micro-cavity

CUI Ji-Wen, TAN Jiu-Ban, SONG Chuan-Xi

中国机械工程 . 2010, (1): 120 -125 .