黄红光1;郭钟宁2;杨权1
出版日期:
2016-09-10
发布日期:
2016-09-18
基金资助:
Huang Hongguang1;Guo Zhongning2;Yang Quan1
Online:
2016-09-10
Published:
2016-09-18
Supported by:
摘要: 设计了一种简单的掩模,并通过控制蚀刻液的喷淋压力进行了平滑阵列微结构研究。研究发现,蚀刻液喷淋压力对微结构的加工形貌有显著影响,蚀刻深度和侧蚀量随蚀刻液喷淋压力增大而增大。研究整合了多次加工和控制喷淋压力的工艺,得到了理想的无棱边棱角、结构均匀的深度渐变型阵列微凸结构。最终在注塑模具表面上加工出宽度为200μm、深度约60μm的无棱边棱角、过渡平滑的阵列微结构。
中图分类号:
黄红光, 郭钟宁, 杨权 . 注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术[J]. 中国机械工程.
Huang Hongguang, Guo Zhongning, Yang Quan. Etching Micromachining of Micro-structure Arrays on Injection Mold Cavity Surface[J]. China Mechanical Engineering.
[1]汤勇,周明,韩志武,等.表面功能结构制造研究进展[J].机械工程学报, 2010,46(23):93-94. Tang Yong, Zhou Ming,Han Zhiwu,et al. Research Progress of Surface Functional Structure Manufacturing[J]. Journal of Mechanical Engineering, 2010, 46(23):93-94. [2]周一扬, 黄明珠,李澄,等. 不锈钢的化学腐蚀加工[J]. 材料保护, 1995, 28(12): 10-11. Zhou Yiyang, Huang Mingzhu,Li Cheng,et al. The Chemical Etching Process of Stainless Steel[J].Materials Protection,1995, 28(12): 10-11. [3]黄红光, 郭钟宁, 王冠. 模具钢表面阵列微结构蚀刻工艺的实验研究[J]. 腐蚀科学与防护技术, 2014, 26(2): 194-196. Huang Hongguang,Guo Zhongning,Wang Guan. Experimental Study on Micro Structure Etching Process of Die Steel Surface Array[J]. Corrosion Science and Protection Technology, 2014, 26(2): 194-196. [4]田波. 微带蚀刻工艺影响因素探讨[J]. 表面技术, 2004, 33(2): 50-51. Tian Bo. The Influence Factors of Micro Strip Etching Process[J]. Surface Technology, 2004, 33(2): 50-51. [5]Rao P N, Kunzru D. Fabrication of Microchannels on Stainless Steel by Wet Chemical Etching[J]. Journal of Micromechanics & Microengineering, 2007, 17(17):N99-N106. [6]Fadaei T A, Imanian E. A New Etchant for the Chemical Machining of St304[J]. Journal of Materials Processing Technology, 2004, 149(1): 404-408. [7]Sun L, Liang J, Liu C, et al. Effects of the Initial Stencil Width on Stainless Steel Wet Chemical Etching: Combined Model and Experimental Investigations[J]. Journal of Micromechanics & Microengineering, 2009, 19(19):442-447. [8]刘柱方, 蒋利民, 汤儆,等. 金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工[J]. 应用化学, 2004, 21(3):227-230. Liu Zhufang, Jiang Limin, Tang Jing, et al. Chemical Micro-machining of the 3D Dentate Structure on the Surface of the Metal Copper[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry,2004, 21(3):227-230. [9]傅玉婷, 巴俊州. 喷淋蚀刻中不锈钢的侧蚀研究[J]. 舰船防化, 2010(4): 15-18. Fu Yuting, Ba Junzhou. Spray Etching Undercut on Die Steel[J]. Chemical Defence on Ships,2010 (4): 15-18. [10]Li Jia,Li Deliang,Mo Ling. The Study of Etching Process with Nitric Acid Etching Solution[J]. Surface Technology,2010,39(3):87-89. [11]曾凡初, 史书汉. 水池效应对厚铜板蚀刻的影响分析[J]. 印制电路信息, 2012(4): 1-5. Zeng Fanchu, Shi Shuhan. Analysis of the Effect of Pool Effect on Thick Opper Etching[J]. Printed Circuit Information, 2012(4): 1-5. [12]McClean J L. Etchant with Increased Etch Rate: US,4462861[P]. 1984-07-31. [13]Takechi K, Kanoh H, Otsuki S. Very High Rate and Uniform Glass Etching with HF/HCl Spray for Transferring Thin-film Transistor Arrays to Flexible Substrates[J]. Japanese Journal of Applied Physics, 2006, 45: 6008. |
[1] | 郑近德, 王兴龙, 潘海洋, 童靳于, 刘庆运. 基于自适应自相关谱峭度图的滚动轴承故障诊断方法[J]. 中国机械工程, 2021, 32(07): 778-785,792. |
[2] | 吴石, 赵洪伟, 李鑫. 覆盖件模具拼接区表面微观几何形貌的反演分析[J]. 中国机械工程, 2021, 32(07): 806-804. |
[3] | 李方义, 戚小霞, 李燕乐, 王黎明, 杜际雨, 许京伟, 孟晓宁. 盾构机关键零部件再制造修复技术综述[J]. 中国机械工程, 2021, 32(07): 820-831. |
[4] | 倪恒欣, 阎春平, 陈建霖, 侯跃辉, 陈亮. 高速干切滚齿工艺参数的多目标优化与决策方法[J]. 中国机械工程, 2021, 32(07): 832-838. |
[5] | 郑华林1;项锡平1;胡腾1;米良2;刘雁3. 五轴加工中心旋转轴几何误差元素区别建模辨识技术[J]. 中国机械工程, 2021, 32(05): 547-555. |
[6] | 白小帆;侯书军;李慨;曲云霞. 轴向低频振动辅助皮质骨钻削的钻削力和温升[J]. 中国机械工程, 2021, 32(03): 321-330. |
[7] | 秦勤1,2;何流1;李程2;臧勇1. 铜铝复合板渐进成形回弹缺陷研究[J]. 中国机械工程, 2021, 32(03): 348-356. |
[8] | 高彦凯;陈东;夏慧超;武广涛. 热轧钢卷打捆中的延迟锁扣技术[J]. 中国机械工程, 2021, 32(03): 363-367. |
[9] | 林志树1,2;黄辉2. 多线往复摇摆线锯切割水晶玻璃的试验研究[J]. 中国机械工程, 2021, 32(02): 132-140. |
[10] | 丁嘉鑫;王振亚;姚立纲;蔡永武. 广义复合多尺度加权排列熵与参数优化支持向量机的滚动轴承故障诊断[J]. 中国机械工程, 2021, 32(02): 147-155. |
[11] | 杨路航1;李宝庆1;王平2,3;王健2,3;杨宇1. 基于概率输出弹性凸包的滚动轴承故障诊断方法[J]. 中国机械工程, 2021, 32(01): 40-46. |
[12] | 范思敏;肖继明;董永亨;洪贤涛;赵亭. 球头铣刀铣削球面的表面形貌建模与仿真研究[J]. 中国机械工程, 2020, 31(24): 2924-2930,2936. |
[13] | 崔仲鸣;王星;赫青山;周宝仓. 金刚石型面约束的自由磨粒挤磨修整超硬磨料砂轮方法[J]. 中国机械工程, 2020, 31(24): 2959-2965. |
[14] | 戴一帆;钟曜宇;石峰;田野. 强光光学元件加工技术发展[J]. 中国机械工程, 2020, 31(23): 2788-2797. |
[15] | 李颖俐;李新宇;高亮. 混合流水车间调度问题研究综述[J]. 中国机械工程, 2020, 31(23): 2798-2813,2828. |
阅读次数 | ||||||
全文 |
|
|||||
摘要 |
|
|||||