图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺研究
侯想, 刘熠新, 钟梦洁, 林赛, 刘杨, 罗荣煌, 罗学涛, 张飒,
Research on Dry Etching Processes on PSSs
HOU Xiang, LIU Yixin, ZHONG Mengjie, LIN Sai, LIU Yang, LUO Ronghuang, LUO Xuetao, ZHANG Sa,
中国机械工程
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2021, (24): 3001
-3007
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DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2021.24.014
