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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计
曹瑞珉, 郝丽娜, 高金海
X-Y Micropositioning Piezostage Design with Large Workspace Density
CAO Ruimin, HAO Lina, GAO Jinhai
中国机械工程 . 2017, (
09
): 1016 -1020,1028 .
