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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
李延强, 兰红波
Mechanism and Laws of Peel-off Demolding for Large-area Nanoimprint Lithography
LI Yanqiang, LAN Hongbo
中国机械工程 . 2017, (
04
): 470 -477 .
