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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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基于SAFT的单晶硅内部缺陷时域检测成像方法
乌伟, 邱宗明, 黄秋红
Imaging Method of Monocrystalline Silicon Internal Defects Based on SAFT Time-domain Detection
Wu Wei, Qiu Zongming, Huang Qiuhong
中国机械工程 . 2016, (
15
): 2075 -2079,2084 .