<div> 化学机械抛光中磨粒运动特性离散元仿真研究 </div>

谭援强, 张浩, 李明军

Modeling and Simulation of Abrasive Flow in Chemical Mechanical Polishing Using Discrete Element Method

TAN Huan-Jiang, ZHANG Gao, LI Meng-Jun

中国机械工程 . 2011, (5): 597 -603 .