基于柔性铰链机构的谐振式微加速度计设计制作
何高法, 唐一科, 周传德, 何晓平, 吴英
A Micro Resonant Accelerometer
HE Gao-Fa, TANG Yi-Ke, ZHOU Chuan-De, HE Xiao-Beng, TUN Yang
中国机械工程 . 2010, (04): 410 -414 .