中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (17): 2074-2081.DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2021.17.008
毛美姣1,3;许庆1;刘静莉1;袁巨龙2,3,4;李敏3,4;胡自化1
MAO Meijiao1,3;XU Qing1;LIU Jingli1;YUAN Julong2,3,4;LI Min3,4;HU Zihua1
摘要: 基于弹塑性力学理论,对工件-磨粒-抛光垫间的接触状态进行理论分析,计算各状态下磨粒压入工件深度,建立接触状态临界条件的数学模型,并进行实验验证。研究结果表明:在硬质合金化学机械抛光过程中,工件-磨料-抛光垫间存在着非接触状态、部分接触状态和完全接触状态三种形式;不同接触状态下磨粒压入深度主要受抛光载荷、磨粒粒径以及工件表面软质层硬度影响,临界条件由抛光垫特性、磨粒质量分数以及抛光载荷共同决定。实验结果表明所建立的数学模型是可信的。
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