摘要:
利用有限元分析理论和模态分析理论,分析了高分辨光刻机主基板的动态特性,分析结果表明主基板结构设计合理。结合模态试验,验证了主基板有限元模型的正确性。利用该有限元模型,进行了灵敏度分析,还进一步实现了主基板结构的优化设计。
中图分类号:
陈学东, 郭合忠, 严天宏, 余显忠. 光刻机主基板的动态特性分析及优化[J]. 中国机械工程, 2007, 18(21): 2524-2527.
Chen Xuedong, Guo Hezhong, Yan Tianhong, Yu Xianzhong. Dynamics Analysis of the Main-plate of Stepping-scanning Lithography and Optimization[J]. China Mechanical Engineering, 2007, 18(21): 2524-2527.