宏微复合驱动<i>XY</i>工作台解耦设计与实验研究

宏微复合驱动XY工作台解耦设计与实验研究

喻曹丰, 杨坤, 沈刚, 肖志豪, 王宁

Decoupling Design and Experimental Research of XY Workbenchs Driven by MMCA

YU Caofeng, YANG Kun, SHEN Gang, XIAO Zhihao, WANG Ning

中国机械工程 . 2026, (8): 1889 -1899 . DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2026.08.008