J4  2007, Vol. 18 Issue (21): 0-2527    
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应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工
尹韶辉1;陈逢军1;盛晓敏1;大森整2;林伟民2;上原嘉宏2
A Study of Nano-precision Synergistic Process Integrated
ELID-grinding and MRF for CVD-SiC
Yin Shaohui1;Chen Fengjun1;Sheng Xiaomin1
Ohmori Hitoshi2;Lin Weimin2;Uehara Yoshihiro2


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