光刻机主基板的动态特性分析及优化

中国机械工程 ›› 2007, Vol. 18 ›› Issue (21): 2524-2527.

光刻机主基板的动态特性分析及优化

陈学东¹;郭合忠¹;严天宏²;余显忠¹

收稿日期:1900-01-01 修回日期:1900-01-01 出版日期:2007-11-10 发布日期:2007-11-10

Dynamics Analysis of the Main-plate of Stepping-scanning Lithography and Optimization

Chen Xuedong¹;Guo Hezhong¹;Yan Tianhong²;Yu Xianzhong¹

Received:1900-01-01 Revised:1900-01-01 Online:2007-11-10 Published:2007-11-10

摘要/Abstract

摘要：

利用有限元分析理论和模态分析理论，分析了高分辨光刻机主基板的动态特性，分析结果表明主基板结构设计合理。结合模态试验，验证了主基板有限元模型的正确性。利用该有限元模型，进行了灵敏度分析，还进一步实现了主基板结构的优化设计。

关键词: 主基板, 有限元分析, 模态试验, 优化设计

Abstract:

The main-plate of the high-resolution stepping-scanning lithography was studied. Using the finite element analysis theory and modal analysis theory, dynamic characteristics of the main-plate were analyzed, and it proves the structural design is reasonable. Using modal test, the finite element model was validated. Using the finite element model, we carried out sensitive analysis, and implemented the optimization design.

Key words: main-plate, finite element analysis, modal test, optimization design

中图分类号:

TH113.1

陈学东, 郭合忠, 严天宏, 余显忠. 光刻机主基板的动态特性分析及优化[J]. 中国机械工程, 2007, 18(21): 2524-2527.

Chen Xuedong, Guo Hezhong, Yan Tianhong, Yu Xianzhong. Dynamics Analysis of the Main-plate of Stepping-scanning Lithography and Optimization[J]. China Mechanical Engineering, 2007, 18(21): 2524-2527.

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