基于响应曲面法的YG8硬质合金刀片化学机械抛光工艺参数优化

中国机械工程

基于响应曲面法的YG8硬质合金刀片化学机械抛光工艺参数优化

袁巨龙1，3，4;毛美姣1，2;李敏1，3，4;刘舜2;吴锋2;胡自化2;秦长江2

1.湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心，长沙， 410082
2.湘潭大学复杂轨迹加工工艺及装备教育部工程研究中心，湘潭， 411105
3.浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室，杭州，310014
4.湖南科技大学难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室，湘潭，411201

出版日期:2018-10-10 发布日期:2018-10-08
基金资助:
国家自然科学基金资助项目（51605163）；
湖南省自然科学基金资助项目（2017JJ4055）；
湖南省重点研发计划资助项目（2016GK2014，2017GK2050）

Optimization of CMP Processing Parameters for YG8 Cemented Carbide Inserts Based on RSM

YUAN Julong1，3，4;MAO Meijiao1，2;LI Min1，3，4;LIU Shun2;WU Feng2;HU Zihua2;QIN Changjiang2

1.National Engineering Technology Research Center for High Efficiency Grinding Technology，Hunan University，Changsha，410082
2.Engineering Research Center of Complex Tracks Processing Technology and Equipment of Ministry of Education，Xiangtan University，Xiangtan，Hunan，411105
3.Key Laboratory of Special Purpose Equipment and Advanced Processing Technology of Ministry of Education，Hangzhou，310014
4.Hunan Provincial Key Laboratory of High Efficiency and Precision Machining for Difficult-to-Cut Material，Hunan University of Science and Technology，Xiangtan，Hunan，411201

Online:2018-10-10 Published:2018-10-08
Supported by:
National Natural Science Foundation of China （No. 51605163）
Hunan Provincial Natural Science Foundation of China （No. 2017JJ4055）
Hunan Provincial Key Research and Development Program（No. 2016GK2014，2017GK2050）

摘要/Abstract

摘要： 为了快速确定YG8前刀面抛光的最佳工艺参数，提高加工效率和精度，利用响应曲面法对YG8硬质合金刀片抛光工艺进行优化试验研究。通过单因素试验确定抛光转速、抛光压力、磨粒粒径和磨粒浓度的水平，并对4个工艺参数进行中心复合设计试验。建立了材料去除率RMR和表面粗糙度Ra的预测模型，基于响应曲面法优化工艺参数获得最佳工艺参数为抛光转速65.5 r/min、抛光压力156.7 kPa、磨粒粒径1.1 μm、磨粒浓度14%，此时得到了最小表面粗糙度预测值Ra=0.019 μm，材料去除率RMR=56.6 nm/min。试验结果表明，基于响应曲面法的材料去除率与表面粗糙度预测模型准确有效。

关键词: 化学机械抛光, 硬质合金刀片, 工艺参数优化, 响应曲面法

Abstract: In order to determine the optimum processing parameters of YG8 rake face polishing quickly and improve the polishing efficiency and precision， the optimization tests of YG8 cemented carbide inserts polishing processes were studied by using RSM. The factor levels of polishing rotational speeds， polishing pressures， abrasive particle sizes and abrasive concentrations were determined by single factor tests，and four processing parameters were tested by central composite design. The prediction models of material removal rate（MRR） RMR and surface roughness Ra were established. The processing parameters are optimized to obtain the optimum processing parameters when the polishing rotational speed is as 65.5 r/min， polishing pressure is as 156.7 kPa， abrasive particle size is as 1.1 μm and abrasive concentration is as 14% based on RSM. Meanwhile， the minimum surface roughness predicted value Ra=0.019 μm and the MRR RMR=56.6 nm/min are obtained. The test results show that the prediction models of MRR and surface roughness are accurate and effective based on RSM.

Key words: chemical mechanical polishing（CMP）, cemented carbide insert, optimization of processing parameter, response surface methodology（RSM）

中图分类号:

TG175

袁巨龙1，3，4;毛美姣1，2;李敏1，3，4;刘舜2;吴锋2;胡自化2;秦长江2. 基于响应曲面法的YG8硬质合金刀片化学机械抛光工艺参数优化[J]. 中国机械工程.

YUAN Julong1，3，4;MAO Meijiao1，2;LI Min1，3，4;LIU Shun2;WU Feng2;HU Zihua2;QIN Changjiang2. Optimization of CMP Processing Parameters for YG8 Cemented Carbide Inserts Based on RSM[J]. China Mechanical Engineering.

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