氮化铝基板嵌入式微流道设计及激光刻蚀研究
马预谱, 魏涛, 王力, 赵俊熠, 张鑫磊, 陈妮, 李亮, 何宁
Design and Laser Etching of Embedded Microchannels on AlN Substrate
MA Yupu, WEI Tao, WANG Li, ZHAO Junyi, ZHANG Xinlei, CHEN Ni, LI Liang, HE Ning
中国机械工程
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2023, (20): 2496
-2503
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DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2023.20.013
