差动结构的平面二维时栅位移传感器

杨继森;牟智铭;李路建;邵争光;田青青

A Planar Two-dimensional Time-grating Displacement Senor with Differential Structure

YANG Jisen;MOU Zhiming;LI Lujian;SHAO Zhengguang;TIAN Qingqing

中国机械工程 . 2020, (12): 1444 -1451 .