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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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单晶硅同质互抛实验研究
李庆忠;孙苏磊;李强强
Experimental Study on Homogeneity Mutual Polishing of Monocrystalline Silicon
LI Qingzhong;SUN Sulei;LI Qiangqiang
中国机械工程 . 2019, (
23
): 2773 -2777 .
