在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术

在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术

徐志强1，2;尹韶辉3;姜胜强1，2;朱科军1，2

ELID Grinding and CMP Compound Processing Technology for Sapphire Substrates

XU Zhiqiang1，2;YIN Shaohui3;JIANG Shengqiang1，2;ZHU Kejun1，2

中国机械工程 . 2018, (11): 1310 -1315 .