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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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MEMS中变截面梁弯曲数学模型的建立
孙江宏, 易源霖, 赵秋玲, 刘旭
Mathematical Modeling of Variable Cross-section Beam Bending in MEMS
Sun Jianghong, Yi Yuanlin, Zhao Qiuling, Liu Xu
中国机械工程 . 2014, (
22
): 3061 -3065 .
