单晶SiC基片的集群磁流变平面抛光加工
潘继生1;阎秋生1;徐西鹏2;童和平1;祝江停1;白振伟1
Cluster Magnetorheological Effect Plane Polishing on SiC Single Crystal Slice
Pan Jisheng1;Yan Qiusheng1;Xu Xipeng2;Tong Heping1;Zhu Jiangting1;Bai Zhenwei1
中国机械工程 . 2013, (18): 2495 -2499 .