考虑空位缺陷的单晶硅纳米级磨削过程的分子动力学仿真

郭晓光, 张亮, 金洙吉, 郭东明

Molecular Dynamics Simulation in Vacancy Defect Monocrystal Silicon Nanometric Grinding

GUO Xiao-Guang, ZHANG Liang, JIN Zhu-Ji, GUO Dong-Meng

中国机械工程 . 2013, (10): 1284 -1288,1295 .