一种低成本微定位平台的设计与仿真

一种低成本微定位平台的设计与仿真

卢清华1, 吴志伟2, 范彦斌1, 张宪民2

Design and Simulation of a Low-cost Micro-positioning Stage

LEI Qing-Hua-1, TUN Zhi-Wei-2, FAN Pan-Bin-1, ZHANG Xian-Min-2

中国机械工程 . 2013, (5): 585 -588,609 .