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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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分离式片上微摩擦测试机构及其制作
郭占社, 姜春福, 张欲晓, 郑德智
An On-chip Micro-tribotester and Its Micro-fabrication
Guo Zhanshe, Jiang Chunfu, Zhang Yuxiao, Zheng Dezhi
中国机械工程 . 2007, (
21
): 2539 -2542 .