平面光波导精密对准平台运动误差的敏感性分析

唐皓, 段吉安, 郑煜, 祝孟鹏

Motion Error Sensitivity Analysis of Planar Optical Waveguide Precise Aligning Stage

TANG Hao, DUAN Ji-An, ZHENG Yu, CHU Meng-Feng

中国机械工程 . 2012, (8): 888 -892,896 .