单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究
刘志东, 鲁, 清, 邱明波, 田宗军, 黄因慧
Study on Electrode Covering Effect on Monocrystalline Silicon in Electrical Discharge
Milling
LIU Zhi-Dong, LU,QING,QIU Meng-Bei, TIAN Zong-Jun, HUANG Yin-Hui
中国机械工程 . 2012, (2): 208 -211 .