杆式旋转超声电机在精密定位平台上的应用
张健滔1, 朱华2, 赵淳生2
Precision Positioning Stage Using Rod Shape Rotary Ultrasonic Motors
ZHANG Jian-Tao-1, SHU Hua-2, DIAO Chun-Sheng-2
中国机械工程 . 2011, (15): 1842 -1846 .