高阻半导体硅振动式深小孔放电加工研究

高阻半导体硅振动式深小孔放电加工研究

曹银风, 刘志东, 邱明波, 田宗军, 黄因慧

Study on Vibrating EDM of Deep Micro-hole on High Resistance Silicon

CAO Yin-Feng, LIU Zhi-Dong, QIU Meng-Bei, TIAN Zong-Jun, HUANG Yin-Hui

中国机械工程 . 2011, (7): 767 -771 .