<div>氮化硅陶瓷球化学机械抛光机理的研究</div>

氮化硅陶瓷球化学机械抛光机理的研究

朱从容, 吕冰海, 袁巨龙

Mechanism of Chemo-mechanical Polishing Process for Silicon Nitride Balls

SHU Cong-Rong, LV Bing-Hai, YUAN Ju-Long

中国机械工程 . 2010, (10): 1245 -1249 .