<div>单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析</div>

李健, 刘志东, 邱明波, 田宗军, 汪炜

Study and FEM Analysis on Discharge Erosion Mechanism of Monocrystalline Silicon

LI Jian, LIU Zhi-Dong, QIU Meng-Bei, TIAN Zong-Jun, HONG Wei

中国机械工程 . 2010, (7): 847 -851 .