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ISSN 1004-132X
CN 42-1294/TH
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微机电系统惯性电学开关的设计与制作
杨卓青;丁桂甫;蔡豪刚;刘瑞;赵小林;
A Novel Design and Fabrication of MEMS Electrical Inertia Micro-switch
Yang Zhuoqing;Ding Guifu;Cai Haogang;Liu Rui;Zhao Xiaolin
J4 . 2008, (
9
): 0 -1054 .
