水射流辅助激光刻蚀Al2O3陶瓷的试验研究

中国机械工程 ›› 2013, Vol. 24 ›› Issue (12): 1568-1571.

水射流辅助激光刻蚀Al2O3陶瓷的试验研究

陈雪辉1,2;袁根福2;郑伟2

1.南京理工大学,南京,210094
2.安徽建筑大学,合肥,230022

出版日期:2013-06-25 发布日期:2013-07-11
基金资助:
国家自然科学基金资助项目(51175229);安徽省高校自然科学省级重点项目(KJ2011A062)
National Natural Science Foundation of China（No. 51175229）;
Anhui Provincial Natural Science Key Program of Higher Education of China（No. KJ2011A062）

Experimental Investigation of Water Jet-Assisted Laser Etching on Al2O3 Ceramics

Chen Xuehui1,2;Yuan Genfu2;Zheng Wei2

1.Nanjing University of Science and Technology,Nanjing,210094
2.Anhui University of Architecture,Hefei,230022

Online:2013-06-25 Published:2013-07-11
Supported by:

National Natural Science Foundation of China（No. 51175229）;
Anhui Provincial Natural Science Key Program of Higher Education of China（No. KJ2011A062）

摘要/Abstract

摘要：

设计了一套用于实验的水射流辅助激光刻蚀加工装置,将激光和介质射流冲蚀加工相结合,研究激光加工参数和射流加工参数对试样材料激光复合刻蚀量和截面质量的影响。实验结果表明,激光工艺参数和射流加工参数对工件加工表面的质量优劣有着决定性的影响;该复合加工工艺可以清除加工时产生的90%以上熔渣,能有效地降低材料表面粗糙度,使得加工出的盲孔成为较为规则的倒三角形。

关键词: 激光加工, 射流加工, 复合加工, 激光刻蚀

Abstract:

An experimental device of water jet-assisted laser etching was designed,laser etching technology was combined with a medium-jet erosion processing,and the influences of laser processing parameters and jet processing parameters on the etching capacity and cross section quality of material sample were studied.The results show that the laser processing parameters and jet processing parameters have a decisive impact on the quality of the workpiece,the compound processing technology can remove above 90% melting slags which are produced by the laser processing,and the surface roughness are reduced effectively.The blind holes of the machined materials have a regular inverted triangle shape.

Key words: laser processing, jet machining, combined machining, laser etching

中图分类号:

TG665

陈雪辉1, 2, 袁根福2, 郑伟2. 水射流辅助激光刻蚀Al2O3陶瓷的试验研究[J]. 中国机械工程, 2013, 24(12): 1568-1571.

CHEN Xue-Hui-1, 2, YUAN Gen-Fu-2, ZHENG Wei-2. Experimental Investigation of Water Jet-Assisted Laser Etching on Al2O3 Ceramics[J]. China Mechanical Engineering, 2013, 24(12): 1568-1571.

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