单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究

中国机械工程 ›› 2012, Vol. 23 ›› Issue (2): 208-211.

单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究

刘志东;鲁;清;邱明波;田宗军;黄因慧

南京航空航天大学,南京,210016

出版日期:2012-01-25 发布日期:2012-02-14
基金资助:
国家自然科学基金资助项目(50975142)；江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009161)，江苏省博士后基金资助项目(1002009C)
National Natural Science Foundation of China（No. 50975142）;
Jiangsu Provincial Key Technology R&D Program（No. BE2009161）

Study on Electrode Covering Effect on Monocrystalline Silicon in Electrical Discharge

Milling

Liu Zhidong;Lu Qing;Qiu Mingbo;Tian Zongjun;Huang Yinhui

Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,Nanjing,210016

Online:2012-01-25 Published:2012-02-14
Supported by:

National Natural Science Foundation of China（No. 50975142）;
Jiangsu Provincial Key Technology R&D Program（No. BE2009161）

摘要/Abstract

摘要：

对单晶硅电火花铣削过程中电极表面出现的覆盖层进行了分析,分析结果表明,该覆盖层的主要成分是SiO₂。实验证明,SiO₂是加工过程中电化学反应的产物。研究了电参数对SiO₂覆盖层厚度的影响规律。研究结果表明,可以通过控制SiO₂覆盖层的厚度来保护电极和补偿电极损耗,实现低损耗甚至无损耗的单晶硅电火花铣削加工。



关键词:

单晶硅, 电火花铣削, 电极损耗, 覆盖效应

Abstract:

Electrode covering effect on monocrystalline silicon in electrical

discharge milling was analyzed and the covering material was SiO₂.

The SiO₂ cover was proved to be generated from some electrochemical reactions during the process.The effects of electrical parameters on the covering thickness were researched, and electrical discharge milling of low or even no electrode wear can be realized by controlling the covering thickness to compensate for electrode wear.

Key words: monocrystalline silicon, electrical discharge milling, electrode wear, covering effect

中图分类号:

TG662

刘志东, 鲁, 清, 邱明波, 田宗军, 黄因慧.

单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究

[J]. 中国机械工程, 2012, 23(2): 208-211.

LIU Zhi-Dong, LU,QING,QIU Meng-Bei, TIAN Zong-Jun, HUANG Yin-Hui.

Study on Electrode Covering Effect on Monocrystalline Silicon in Electrical Discharge

Milling

[J]. China Mechanical Engineering, 2012, 23(2): 208-211.

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