镍基高温合金微细电解铣削加工实验研究

中国机械工程 ›› 2010, Vol. 21 ›› Issue (11): 1353-1356,1361.

镍基高温合金微细电解铣削加工实验研究

余宏兵1;曾永彬1,2;刘勇1;朱荻1

1.南京航空航天大学,南京,210016

2.哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨,150001

出版日期:2010-06-11 发布日期:2010-06-23
基金资助:
国家863高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z302)；国家自然科学基金资助重点项目(50635040)；微系统与微结构制造教育部重点实验室开放基金资助项目(HIT.KLOF.2009001)
National High-tech R&D Program of China (863 Program) （No. 2009AA04Z302）;
Key Program of National Natural Science Foundation of China（No. 50635040）

Experimental Research on Micro Electrochemical Milling of Nickel Based Alloys

Yu Hongbing1;Zeng Yongbin1,2;Liu Yong1;Zhu Di1

1.Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,Nanjing,210016

2.Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing,Ministry of Education,Harbin Institute of Technology,Harbin,150001

Online:2010-06-11 Published:2010-06-23
Supported by:

National High-tech R&D Program of China (863 Program) （No. 2009AA04Z302）;
Key Program of National Natural Science Foundation of China（No. 50635040）

摘要/Abstract

摘要：

针对高深宽比、复杂结构的微型腔,提出了分层电解铣削的工艺。在三轴联动微细加工平台上制作了柱状的微细电极,并在镍基高温合金上进行了微细电解铣削加工实验。研究了加工电压、脉冲参数、不同电极直径对加工精度的影响规律,成功地加工出二维结构和三维型腔。该工艺加工精度高、加工稳定性好。

关键词:

镍基高温合金, 柱状电极, 分层铣削, 微三维结构

Abstract:

A new process of micro electrochemical milling by layer was proposed for the micro cavity of high aspect ratio and the complex structure. The cylindrical micro electrodes for micro electrochemical milling can be fabricated on-line by electrochemical etching. A series of experiments were carried out to investigate the influence of the predominant parameters such as machining voltage, pulse on-time, electrode diameter on machining accuracy of nickel based alloys, and micro structures with high precision were fabricated successfully.

Key words: nickel based alloy, cylindrical electrode, milling by layer, micro 3D structure

中图分类号:

TG662

余宏兵, 曾永彬, 刘勇, 朱荻.

镍基高温合金微细电解铣削加工实验研究

[J]. 中国机械工程, 2010, 21(11): 1353-1356,1361.

TU Hong-Bing, CENG Yong-Ban, LIU Yong, SHU Di.

Experimental Research on Micro Electrochemical Milling of Nickel Based Alloys

[J]. China Mechanical Engineering, 2010, 21(11): 1353-1356,1361.

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