超精密加工误差补偿技术研究综述
陈启迪, 胡小龙, 吝敏, 孙晓霞, 张涛, 周志雄
Research Review of Error Compensation Technology for Ultra-precision Machining
CHEN Qidi, HU Xiaolong, LIN Min, SUN Xiaoxia, ZHANG Tao, ZHOU Zhixiong
中国机械工程
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2023, (03): 253
-268
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DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2023.03.001
