纳米精度在位测量系统测头误差校正方法
郭曦鹏, 徐闻, 王定文, 李蓉, 尹韶辉
Probe Error Correction Method for Nano-precision On-machine Measurement Systems
GUO Xipeng, XU Wen, WANG Dingwen, LI Rong, YIN Shaohui
中国机械工程
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2022, (09): 1084
-1089
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DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.09.010
