化学机械磨削技术研究现状与展望

化学机械磨削技术研究现状与展望

任莹晖, 周家恒, 李伟, 周志雄, 李陈方

Research Status and Prospect of CMG Technology

REN Yinghui, ZHOU Jiaheng, LI Wei, ZHOU Zhixiong, LI Chenfang

中国机械工程 . 2021, (18): 2143 -2152 . DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2021.18.001