<div> 大量程纳米级垂直扫描系统研究 </div>

王淑珍, 王生怀, 谢铁邦

Study on a Vertical Scanning System with Large-stroke and Nanopositioning Resolution

WANG Chu-Zhen, WANG Sheng-Fu, XIE Tie-Bang

中国机械工程 . 2010, (04): 387 -390,476 .